序號

   故障原因

   產生原因

  原因以及排除方法

 1

蝕刻深度不夠

蝕（shí）刻溫度太低

加溫蝕刻（kè）液

蝕刻時間太短

適當延長（zhǎng）蝕刻時間

蝕刻溶液老化，濃度低

增加新（xīn）的蝕刻液

 2

防蝕層脫落

蝕刻液溫度太高

降低蝕刻液溫度

防蝕層製作不良

加強（qiáng）蝕刻製作管理

油墨存（cún）放時間過長，失效

更換新（xīn）油墨

二次曝光時間太短

延長二次曝光時間

顯影後烘烤溫度太低或時間太短

提高烘烤溫度（dù）或延長時（shí）間

預處理不良（liáng）

加強質（zhì）量管理

 3

防蝕層邊緣變脆起層（céng）

二次曝光時間太（tài）長

適當縮短二次曝光時間

 4

蝕刻表麵有印跡

酸洗溶液氟化物含量不夠

添加氟化物

酸洗時間太短

延長酸洗時間

蝕刻（kè）溶液失調

分（fèn）析蝕刻溶液

材料質量（liàng）原因

更（gèng）換（huàn）材料

 5

    平滑度差

雜質含量太高

更換溶液

三氯化鐵質量差

選（xuǎn）擇質（zhì）量好的三氯化鐵

活化不良

加強活化過程

添加劑含量不足

定期補加添加劑

氯離子濃度太（tài）高（gāo）

添加硝酸或硝酸氨

磷（lín）酸（suān）離子濃度低

添加磷酸

材料晶粒粗大

更換材料